Aplicação de bolas de moagem de zircônia em alvos de pulverização da liga de molibdênio-nióbio

(1) O pó de molibdênio e o pó de nióbio (ambos com pureza de ≥99,95% e granulometria de 20μm e 35μm, respectivamente) foram carregados em um moinho de bolas na proporção de peso de 6:1. Foram adicionadas bolas de moagem de ácido palmico e zircônia (2mm de diâmetro) e a moagem foi realizada sob proteção de argônio. O tempo de moagem foi de 80 minutos e a velocidade de moagem de 1000r/min. Após peneiramento, obteve-se pó compósito com granulometria de 9μm de liga molibdênio-nióbio. O peso das bolas de moagem de ácido palmico e zircônia foi 0,02 vezes o peso total do pó de molibdênio e nióbio em pó, e 8 vezes, respectivamente.

(2) O pó compósito de liga de molibdênio-nióbio da etapa (1) foi prensado isostaticamente a frio a uma pressão de 200MPa por 5 minutos para obter um branco prensado.

(3) O branco prensado foi sinterizado em forno de sinterização a vácuo a uma temperatura de 1800°C por 10 horas para obter um branco alvo.

(4) O alvo em branco foi submetido a processamento mecânico para produzir alvos de pulverização da liga molibdênio-nióbio. Os alvos de sputtering apresentaram microestrutura monofásica, uniforme sem poros, tamanho de grão médio de 50μm e densidade de 9,85g/cm³.

[0023] Exemplo 2

Um processo para a preparação de alvos de sputtering da liga molibdênio-nióbio, compreendendo as seguintes etapas:

(1) O pó de molibdênio e o pó de nióbio (ambos com pureza de ≥99,95% e granulometria de 15μm e 30μm, respectivamente) foram carregados em um moinho de bolas na proporção de peso de 7:1. Estearato de zinco e bolas de zircônia (3mm de diâmetro) foram adicionados, e a moagem foi conduzida sob proteção de argônio. O tempo de moagem foi de 60 minutos e a velocidade de moagem de 1200r/min. Após peneiramento, obteve-se pó compósito com granulometria de 10μm de liga molibdênio-nióbio. O peso das bolas de trituração de estearato de zinco e zircônia foi 0,01 vezes o peso total do pó de molibdênio e nióbio em pó, e 5 vezes, respectivamente.

(2) O pó compósito de liga de molibdênio-nióbio da etapa (1) foi submetido a tratamento a vácuo e, em seguida, pressionado isostaticamente a frio a uma pressão de 150MPa por 10 minutos para obter um branco prensado.

(3) O branco prensado foi sinterizado em forno de sinterização a vácuo a uma temperatura de 2000°C por 5 horas para obter um branco alvo.

(4) O alvo em branco foi submetido a processamento mecânico para produzir alvos de pulverização da liga molibdênio-nióbio. Os alvos de sputtering apresentaram microestrutura monofásica, uniforme sem poros (ver Figura 1), granulometria média de 55μm e densidade de 9,86g/cm³.

[0024] Exemplo 3

(1) O pó de molibdênio e o pó de nióbio (ambos com pureza de ≥99,95% e granulometria de 25μm e 40μm, respectivamente) foram carregados em um moinho de bolas na proporção de 8:1. Estearato de zinco e bolas de zircônia (1mm de diâmetro) foram adicionados, e a moagem foi conduzida sob proteção de argônio. O tempo de moagem foi de 100 minutos e a velocidade de moagem de 1000r/min. Após peneiramento, obteve-se pó compósito com granulometria de 6μm de liga molibdênio-nióbio. O peso das bolas de trituração de estearato de zinco e zircônia foi 0,03 vezes o peso total do pó de molibdênio e nióbio em pó, e 10 vezes, respectivamente.

(2) O pó compósito liga molibdênio-nióbio da etapa (1) foi submetido a tratamento a vácuo, seguido de prensagem isostática a frio a uma pressão de 180MPa por 7 minutos para obter um blank prensado.

(3) O branco prensado foi sinterizado em forno de sinterização a vácuo a uma temperatura de 2000°C por 8 horas para obter um branco alvo.

(4) O alvo em branco foi submetido a processamento mecânico para produzir alvos de pulverização da liga molibdênio-nióbio. Os alvos de sputtering tinham uma microestrutura monofásica, uniforme sem poros (ver Figura 2), um tamanho de grão médio de 45μm e uma densidade de 9,87g/cm³.